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直拉硅单晶中的流动图形缺陷



掺氮对300mm单晶硅中流动图形缺陷和氧化诱生层错的影响.pdf

掺氮对300mm单晶硅中流动图形缺陷和氧化诱生层错的影响 - 第31卷第6期V0

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示.pdf

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示_能源/化工_工程科技_专业资料。太阳能资料...直拉硅单晶中 的空洞型缺陷 H$1F) 影响半导体器件(是 成品率的因素之一, ...

单晶硅中可能出现的各种缺陷分析.doc

宏观上,为一系列同心环或螺旋状的腐蚀图形,在显微镜...TEM 观察到在原生直拉硅单晶中,存在着间隙 位错环...或抛物线形的流动 图样的缺陷,在其端部存在有很小...

单晶硅中可能出现的各种缺陷分析.doc

2.3 微缺陷结构 直拉单晶中微缺陷比较复杂。TEM 观察到在原生直拉硅单晶中,...用光学显微镜观察到的形如楔形或抛物线形的流动图 样的缺陷, 在其端部存在有...

单晶硅中可能出现的各种缺陷.pdf

2.3 微缺陷结构 直拉单晶中微缺陷比较复杂。TEM 观察到在原生直拉硅单晶中,...用光学显微镜观察到的形如楔形或抛物线形的流动图 样的缺陷,在其端部存在有很...

硅中的缺陷和硅片热处理.pdf

流动图形缺陷; 体微缺陷; 栅氧化层完整性 图...在拉制硅单晶过程中 形成的缺陷称为原生缺陷, 而...对直拉 ( CZ) 硅单晶, 根据拉速 v 和固 液...

掺杂剂种类对大直径直拉硅单晶中void微缺陷的影响.pdf

掺杂剂种类对大直径直拉硅单晶中void微缺陷的影响_材料科学_工程科技_专业资料。...[ 2] ( 流动图形缺陷) 、 ST Ds [ 3] ( 激光散射层析缺陷) FP L 等....

硅中的缺陷和硅片热处理.pdf

关键词 : 硅 ; 晶体原生颗粒缺陷 ; 激光散射断层缺陷 ; 流动图形缺陷 ; 体...对直拉 ( CZ) 硅单晶 , 根据拉速 v 和固 液界面处轴向温度梯度 g 的不...

直拉硅单晶中氢行为的研究进展_图文.pdf

直拉硅单晶中氢行为的研究进展 - ?24 ? 材料导报 2007 年 9 月第 21 卷第 9 期 摘要 总结了氢对直拉硅 ( CZ) 单晶中缺陷影响的研究进展 ,...

直拉硅单晶生长的现状与发展.doc

直拉硅单晶生长的现状与发展 - 直拉硅单晶生长的现状与发展 摘要:综述了制造集成电路(IC)用直拉硅单晶生长的现状与发展。对大直径生 长用磁场拉晶技术,硅片中...

硅中缺陷_图文.ppt

硅中缺陷 - 第三章 硅单晶中的缺陷及其控制 ? ? ? ? ? 硅晶体中的位错 硅单晶中微缺陷的形成与控制 硅单晶中的氧和碳 生长层条纹及其控制 磁场中直拉硅...

硅中的点缺陷的控制和利用.pdf

界面处的轴向温度梯度之比 , 影响空位和自间隙原子在直 要 拉硅单晶中的分布...[3 ] ( FPD : ing T omography Defect) 和流动图形缺陷 Flow Pattern ...

直拉硅单晶中氢行为的研究进展_图文.pdf

直拉硅单晶中氢行为的研究进展 - 维普资讯 http://www.cqvip.c

硅中的点缺陷的控制和利用_图文.pdf

固液界面处的轴向温度梯度之比 , 影响空位和自间隙原子在直 拉硅单晶中的分布...[ 3] ing Tomography Defect) 和流动图形缺陷 ( FPD: Flow Pattern Defect )...

硅生长过程的热场建模工艺优化研究.pdf

Morigane 等人对直拉硅单晶的旋转条纹进行 了分析,并得到瞬时生长速度的表达式:...由于硅片清洗 中的端面效 应,它们会出现在硅片表面上。 COP 和流动图形缺陷 (...

拉速对_400mm直拉硅单晶中空洞分布影响的数值模拟_于新....pdf

拉速对_400mm直拉硅单晶中空洞分布影响的数值模拟_于新友 - 20112 )

_浅析硅单晶COP缺陷的产生和消除_图文.pdf

关键词 : 硅单晶 ; 空洞型原生微缺陷 ;热场温度梯度 中分类号 : TN304....如今 在大直径直拉硅单晶中存在的空洞型原生微缺陷 ( 即 COP 缺陷) 已成为...

快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响_图文.pdf

( R TA) 后 , 硅片中的流动图形缺陷 ( FPDs) 密度和随后两步热处理形成的...[ 余学功 , 杨 第1期 德仁 ,马向阳 ,等 . 大直径直拉硅单晶中的空洞型...

材料物理与化学 - 河北工业大学图书馆.xls

快中子辐照直拉硅中氧沉淀及诱生缺陷研 快中子辐照,直拉硅 2005-3-8 氧化...结构 ### 大直径CZ硅单晶中流动图形缺陷(FPDs) 八面体空洞,快速退火 ### ...

φ6″P型100CZSi单晶中微缺陷的研究.pdf

直拉硅单晶中微缺陷与间隙氧之间的关系,并在不同的生氏条flt r研究了微缺陷...流动图形缺陷(flOW pattern defect,FPD)W、和散射断层缺陷(1ight scattering...