kl800.com省心范文网

直拉硅单晶中的流动图形缺陷_图文


直拉硅单晶中的流动图形缺陷.pdf

直拉硅单晶中的流动图形缺陷 - 用Secco腐蚀液对直径15 0 mm p型(1

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示.pdf

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示_电子/电路_工程科技_专业资料。本文针对重...直拉硅单晶中 的空洞型缺陷( H$1F ) 是影响半导体器件 成品率的因素之一,...

热处理气氛对直拉硅单晶中体缺陷的影响_图文.pdf

热处理气氛对直拉硅单晶中缺陷的影响 - 研究了五种不同的热处理气氛对直拉硅中氧沉淀及其诱生缺陷的影响. 实验结果表明,经过低-高退火处理的硅片继续在五种...

硅中缺陷_图文.ppt

硅中缺陷 - 第三章 硅单晶中的缺陷及其控制 ? ? ? ? ? 硅晶体中的位错 硅单晶中微缺陷的形成与控制 硅单晶中的氧和碳 生长层条纹及其控制 磁场中直拉硅...

硅中的点缺陷的控制和利用_图文.pdf

固液界面处的轴向温度梯度之比 , 影响空位和自间隙原子在直 拉硅单晶中的分布...[ 3] ing Tomography Defect) 和流动图形缺陷 ( FPD: Flow Pattern Defect )...

掺氮对300mm单晶硅中流动图形缺陷和氧化诱生层错的影响.pdf

掺氮对3加姗单晶硅中流动图形缺陷和氧化诱生层错的影响韩海建,周旗钢+,戴小林...采用直拉法生长普通硅单晶和掺氮硅单晶,研究两种晶体中空位型原生缺陷(voids)和...

氢气退火对大直径直拉硅单晶中空洞型缺陷的影响_图文.pdf

氢气退火对大直径直拉硅单晶中空洞型缺陷的影响 - 研究了氢退火对大直径直拉硅单晶中空洞型缺陷 (voids)的影响 .样品在 10 5 0~ 12 0 0℃范围进行氢退火...

单晶硅中可能出现的各种缺陷分析.doc

宏观上,为一系列同心环或螺旋状的腐蚀图形,在显微镜...TEM 观察到在原生直拉硅单晶中,存在着间隙 位错环...或抛物线形的流动 图样的缺陷,在其端部存在有很小...

重掺杂直拉硅单晶氧沉淀及其诱生二次缺陷_图文.pdf

重掺杂直拉硅单晶氧沉淀及其诱生二次缺陷 - 研究了重掺杂直拉硅单晶中掺杂元素硼、磷、砷、锑对氧沉淀及其诱生二次缺陷行为的影响 .实验结果表明 :重掺p型 ...

直拉硅单晶生长的现状与发展_图文.pdf

直拉硅单晶;扩散控制;等效微重力;空洞型缺陷;光电子转换效率;硅熔体结构 中图分类号:TN304.12 文献标识码:A 前言 20 世纪中叶晶体管、集成电路(IC) 、半导体...

直拉法硅单晶生长时晃动的分析及控制_图文.pdf

关键词 : 硅单晶 ; 晃动; 单摆 ; 晶转; 直拉法 中图分类号 : O782 5...由于直拉单晶硅的缺陷情况、电阻率及其均 匀性、氧碳含量和少子寿命等内在品质...

直拉硅单晶生长工艺流程与原理_图文.ppt

直拉单晶炉培训(直拉法晶体生长流程与原理) ...直拉单晶炉热系统及气氛流动示意 单晶炉对外界...

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示.pdf

重掺硼直拉硅片中流动图形缺陷的显示_能源/化工_工程科技_专业资料。太阳能资料...直拉硅单晶中 的空洞型缺陷 H$1F) 影响半导体器件(是 成品率的因素之一, ...

Φ200+mm太阳能用直拉硅单晶生长速率研究_图文.pdf

氩气导流在直拉硅单晶生长中是个重要问题, 氩气流动过程中,可以不断地从炉内带走结晶潜 热,因此,氩气流的流速和流动图形对热场的温度 分布有着极其重要的影响。...

直拉硅单晶生长的现状与发展.doc

直拉硅单晶生长的现状与发展摘要:综述了制造集成电路(IC)用直拉硅单晶生长的现状与发展。对大直径生 长用磁场拉晶技术,硅片中缺陷的控制与利用(缺陷工程) ,大...

快速预热处理对大直径CZ-Si中FPDs及清洁区的影响_图文.pdf

( R TA) 后 , 硅片中的流动图形缺陷 ( FPDs) 密度和随后两步热处理形成的...[ 余学功 , 杨 第1期 德仁 ,马向阳 ,等 . 大直径直拉硅单晶中的空洞型...

硅的直拉法单晶生长_图文.ppt

这些杂质和存在的缺陷对硅器件的性能有致命 的影响,必须严格控制。 ? 氧是直拉单晶硅中的主要杂质,它来源于晶体 生长过程中石英坩埚的污染,是属于直拉单晶 硅中...

直拉硅单晶工艺简介_图文.ppt

直拉硅单晶工艺简介化料 ? 在一定的功率(在规定的时间内从低到高慢慢提升,直到化

“十五”期间中国直拉硅单晶炉用石墨材料的市场预测_图文.pdf

“十五”期间中国直拉硅单晶炉用石墨材料的市场预测_材料科学_工程科技_专业资料。“十五”期间中国直拉硅单晶炉用石墨材料的市 ...

_200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究_图文.pdf

_200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究_能源/化工_工程科技_专业...在保证氩气流动图形的 同时保持流过导流筒氩气的温度 , 降低硅单晶上部的温 度...